3 семестр

1

Название

дисциплины

Технология электроники

2

Курс обучения

2, специальность «Математика (научно- конструкторская деятельность)

3

Семестр обучения

3

4

Количество кредитов

1

5

Ф.И.О. лектора

Ст. преподаватель

Малышев Виктор Степанович

6

Цели изучения

дисциплины

Ознакомление с технологическими приёмами формирования интегральных микросхем, как необходимых элементов при проектировании  микросхем.

7

Пререквизиты

Физические основы электроники

8

Содержание

дисциплины

Формирование представления об основных технологических операциях создания  интегральных микросхем, таких как химическая очистка, окисление кремния, диффузия в кремнии, фотолитография, эпитаксия, травление диэлектрических и проводящих покрытий и др., описание математических моделей операций и важнейших параметров технологических процессов.

9

Рекомендуемая

литература

1. Малышев В.С. курс лекций «Технология электроники». Электронный вариант.

2. Зи С. Технология СБИС. Москва, «Мир», 1986

3. И.Г. Пичугин. Ю.М., Таиров. Технология полупроводниковых приборов. Москва, «Высшая школа»

4. А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, Н.А. Кумахов Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей. Минск, БГУ им В.И Ленина, 1986.

10

Методы преподавания

Лекции с использованием иллюстративного материала в виде слайдов, практические занятия с применением задач

11

Язык обучения

Русский

12

Условия (требования),

текущий контроль

Устное тестирование

13

Форма текущей

аттестации

Зачет